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北京双仪微电子有限公司砷化镓单片微波集成电路研发及产业化项目可行性研究报告
该项目引进电子束曝光机(EBL)、光刻机等关键生产设备并配套国产相关设备,建立砷化镓晶圆生产线以及相应的辅助配套设施,形成月产12000片砷化镓晶圆的生产能力。
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